製程監控系統提供擷取比對、辨識錯誤、預先告警、資料備份等功能。 應用於傳統型機台升級自動化(Automation)集中管理,掃瞄 Barcode,擷取製程資料,Auto Download 至比對平台自動執行處方資訊核對,或由操作員雙重確認是否正確;當發現錯誤時即時擋貨避免造成重大損失,並具回傳告警訊息功能。
機台監測:監控 BOE(半導體濕蝕刻洗淨設備)傳統機台,提供雙重確認、擋貨告警等功能
• 本案工作站使用i-FIX圖控軟體,可即時監看所有機台狀況(待機、運轉、故障、擋貨告警等),並將各機台所有製程做成完整記錄,可查詢歷史紀錄(log)、備份輸出。 • BOE機台處使用 AB PLC、LED顯示器,透過 Barcode-Scanner 掃描貨料,由資料庫 Auto Download 抓取處方(Recipe)至機台,操作員雙重確認後執行 Go/No Go;並對異常狀態即時回傳告警訊息。
機台監測:監控 RCA(清洗製程)機台,提供即時監控、處方比對、擋貨告警功能
• 本案透過 Barcode Scanner 掃描貨料,由資料庫抓取處方(Recipe),在比對平台自動比對人員輸入資料是否正確,對異常狀態即時回傳告警訊息,可避免嚴重問題發生,以及避免人為操作錯誤所造成的損失。 • 工作站使用 i-FIX 圖控軟體,可同時即時監看所有機台狀況(待機、運轉、故障、擋貨告警等),並將各機台所有製程做成完整記錄,可查詢歷史紀錄、備份輸出。